3-6”單晶矽片
我們擁有先進(jìn)的多線切割機、雙面(miàn)研磨機、矽片倒角機、全自動超聲清洗機和無接觸矽片自動分選機等矽片加工和質量檢測設備及工藝，按照ISO9001:2015質量管理體系和ISO140001：2015環境管理體系的要求嚴抓産品質量關，爲半導體芯片制造商提供各類規格的高品質單晶矽片。
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規格 |
電阻率Ω·CM |
厚度μm |
晶向(xiàng) |
壽命μs |
外徑mm |
摻雜劑 |
形态 |
電阻率徑向(xiàng)不均勻性 |
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線切片 |
研磨片 |
倒角片 |
定位片 |
||||||||
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3” |
0.001-55 |
200-350 |
<111> |
＞100 |
76.2±0.3 |
磷/硼 |
√ |
√ |
√ |
√ |
≤20% |
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4” |
0.001-55 |
200-350 |
<111> |
＞100 |
101.6±0.3 |
磷/硼 |
√ |
√ |
√ |
√ |
≤20% |
|
5” |
0.001-55 |
200-350 |
<111> |
＞100 |
125±0.3 |
磷/硼 |
√ |
√ |
√ |
√ |
≤20% |
