3-6”單晶矽棒
我們采用磁場拉晶及連續加料工藝，提升晶棒電阻率徑向(xiàng)均勻度及阻值對(duì)檔率，單晶矽棒質量品質高于行業标準，可生産電阻率範圍0.001-55Ω·cm的輕摻及重摻單晶矽棒，具有行業領先的磁場直拉單晶生長(cháng)技術。
|
規格 |
電阻率Ω·CM |
長(cháng)度mm |
晶向(xiàng) |
少子壽命μs |
外徑mm |
摻雜劑 |
形态 |
徑向(xiàng)電阻率變化 |
氧含量（atoms/cm³） |
碳含量（atoms/cm³） |
|
|
抛光棒 |
定位棒 |
||||||||||
|
3” |
0.001-55 |
根據客戶要求 |
<111> |
＞100 |
76.2±0.3 |
磷/硼 |
√ |
√ |
≤20% |
≤1×1018 |
≤5×1016 |
|
4” |
0.001-55 |
根據客戶要求 |
<111> |
＞100 |
101.6±0.3 |
磷/硼 |
√ |
√ |
≤20% |
≤1×1018 |
≤5×1016 |
|
5” |
0.001-55 |
根據客戶要求 |
<111> |
＞100 |
125±0.3 |
磷/硼 |
√ |
√ |
≤20% |
≤1×1018 |
≤5×1016 |
